2023年第一批团体标准立项计划项目 （5月30日修订）

项目名称

主要起草单位

参编单位

1

IGBT模块中DBC焊接X射线实时成像检测方法

无锡日联科技股份有限公司

江苏宏微科技股份有限公司

西安交通大学软件学院

2

半导体器件刻蚀工艺静电卡盘

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3

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深圳市思立康技术有限公司

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