微导纳米：重磅推出新品—批量式原子层沉积镀膜系统

微导纳米：重磅推出新品—批量式原子层沉积镀膜系统

近日，江苏微导纳米科技股份有限公司（简称：“微导纳米”）推出自主研制的iTomic^® MW系列批量式原子层沉积镀膜系统。

该新葡萄京娱乐采用创新的批量型（mini-batch）腔体设计，一次可处理25片12英寸晶圆，机台每小时的芯片产出量是单片机的6-7倍，适用于成膜镀率低、厚度要求高，以及产能要求高的关键工艺及应用。且与炉管型新葡萄京娱乐相比，微导纳米这一批量式ALD新葡萄京娱乐能够在减少颗粒度的同时，避免了芯片器件在制程中的热损伤。

iTomic^® MW系列产品利用特有的流场设计，具有成膜速度快、占地面积小、产能高、使用成本低等优势，可为存储芯片以及Micro-OLED显示器、MEMS等提供定制化量产的解决方案。

（来自微导纳米）