拓荆科技： PE-ALD新葡萄京娱乐量产，Thermal-ALD客户端验证

拓荆科技股份有限公司（简称：拓荆科技）近期在接受机构调研时表示，公司研制的ALD新葡萄京娱乐系列产品包括PE-ALD新葡萄京娱乐和Thermal-ALD新葡萄京娱乐，PE-ALD新葡萄京娱乐已实现量产，可以沉积SiO2、SiN等介质薄膜材料，Thermal-ALD新葡萄京娱乐已出货至不同客户端进行验证，可以沉积Al2O3等金属化合物薄膜；SACVD和HDPCVD新葡萄京娱乐均已实现产业化。拓荆科技将持续保持产品核心竞争优势，不断扩大量产应用规模。在混合键合新葡萄京娱乐的进展方面，拓荆科技表示，晶圆对晶圆键合产品（Dione 300）已通过客户验收，并获得了重复订单，芯片对晶圆键合表面预处理产品（Pollux）已出货至客户端验证

（来自：半导体之窗）