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北京中电科:创新驱动300mm减薄抛光一体机填补空白

北京中电科:创新驱动300mm减薄抛光一体机填补空白

日前,由北京中电科新葡萄京娱乐网站装备有限公司(以下简称:北京中电科)牵头承担的国家02 科技重大专项 “300mm 超薄晶圆减薄抛光一体机研发与产业化” 项目顺利通过国家科技部的正式验收,标志着电科装备在集成电路高端装备自主可控进程上再提速。

北京中电科历经α、β、γ机型三个阶段,攻克超薄晶圆减薄的核心技术、压力控制技术、亚微米清洗技术以及薄片传输等关键技术,取得上百项国内发明专利,三项国际发明专利,成功研发出国内首台具有自主知识产权并满足大生产的300mm 减薄抛光一体机,具备晶圆粗磨、精磨、非接触测量、抛光、清洗、传输、保护膜处理等全自动流片能力,是我国再研究削减薄抛光领域赶上世界先进水平,迈出了产业化的监视步伐。

(来自:电科装备)