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芯源:涂胶显影新葡萄京娱乐已进入多条晶圆生产线

芯源:涂胶显影新葡萄京娱乐已进入多条晶圆生产线

沈阳芯源微新葡萄京娱乐网站装备股份有限公司(简称:“芯源”)通过多年的技术积累以及承担国家02重大专项,已经成功掌握多种涂胶显影核心技术,并拥有多项自主知识产权。尽管芯源的涂胶显影新葡萄京娱乐尚处于产业化初期,但其前道I-line涂胶显影机已在长江存储上线进行工艺验证,可满足客户0.18μm技术节点加工工艺;前道Barc(抗反射层)涂胶新葡萄京娱乐已在上海华力上线测试应用,可满足客户28nm技术节点加工工艺。

芯源的集成电路制造前道晶圆加工环节用单片式清洗机产品,目前也已通过中芯国际(深圳厂)的技术测试验证,已经上线应用。

(来自:中银杨绍辉团队