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北方华创:正式推出NMC612G 12英寸金属刻蚀机

北方华创:正式推出NMC612G 12英寸金属刻蚀机

近日,北方华创科技集团股份有限公司(以下简称:“北方华创”)正式发布了NMC612G 12英寸金属刻蚀机。该新葡萄京娱乐具有优秀的刻蚀均匀性调节能力与良好的颗粒管控能力,可满足集成电路、功率半导体、硅基微显示等领域的金属刻蚀需求。

NMC612G 12英寸金属刻蚀机是电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机,具有多种均匀性控制手段,如电流分布控制技术、气体比例控制技术、静电卡盘温控技术等,为客户提供了多种均匀性调节选择,拓宽了工艺空间。其中,静电卡盘及传输系统不但适用于常规硅片的传输,也适用于不同领域的玻璃片、SOG片等晶圆的传输及吸附,可多元化满足各领域多种需求。此外,针对刻蚀后残留气体导致的金属腐蚀问题,该新葡萄京娱乐采用微波去胶技术,利用O2产生等离子体,可以较高的速率实现不同金属刻蚀后PR掩膜的去除,并保证金属长期存放过程中不被腐蚀。

(来自:北方华创)