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京仪装备:高速集成电路晶圆倒片机诞生

京仪装备:高速集成电路晶圆倒片机诞生

近日,北京京仪自动化装备技术有限公司(以下简称“京仪装备”)自主研发出了高速集成电路制造晶圆倒片机,每小时300片以上的倒片速度指标达国际先进水平,成为国内首创的高速集成电路制造晶圆倒片机,可用于14纳米集成电路制造,打破了国际垄断。

集成电路制造车间采用晶圆倒片机,根据生产状况,在每隔几道、十几道制程进行一次倒片,让每一片晶圆在不同制程中处于前期、中期、后期生产阶段,提升制造一致性。晶圆倒片机性能的提升,是集成电路产品制造质量与速度提升的关键。京仪装备经过多年技术积累和无数次的实验,攻克了多项行业领域技术难题,取得了4项发明专利,在国内首创了高速集成电路制造晶圆倒片机。

京仪装备首台四个载物台的高速集成电路制造晶圆倒片机,已交付集成电路厂家应用。

(来自:北京亦庄)