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中微5nm刻蚀机通过台积电认证(2019-1-25)



中微5nm刻蚀机通过台积电认证

    最近中微半导体新葡萄京娱乐上海有限公司收到一个好消息其自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证性能优良将用于全球首条5纳米制程生产线

    方寸间近乎极限的操作对刻蚀机的控制精度提出很高要求刻蚀尺寸的大小与芯片温度一一对应中微自主研发的部件使刻蚀过程的温控精度保持在0.75摄氏度内达到国际领先水平气体喷淋盘是刻蚀机的核心部件之一中微和国内企业联合开发出一套创新工艺用这套工艺制造的金属陶瓷其晶粒十分精细致密与进口喷淋盘相比国产陶瓷镀膜的喷淋盘使用寿命延长一倍造价却不到五分之一

    凭借自主创新中微已申请1200多件国内外专利。“因为有大量专利保护我们经历4次与发达国家企业的知识产权诉讼未尝败绩。”公司副总裁曹炼生说如今中微与泛林应用材料东京新葡萄京娱乐网站日立4家美日企业一起组成了国际第一梯队7纳米芯片生产线供应刻蚀机明年台积电将率先进入5纳米制程已通过验证的国产5纳米刻蚀机预计会获得比7纳米生产线更大的市场份额

来自解放日报