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从华虹(无锡)项目中标数据,看集成电路晶圆制造工艺新葡萄京娱乐国产化(2019-5-19)



从华虹(无锡)项目中标数据,看集成电路晶圆制造工艺新葡萄京娱乐国产化

据中国国际招标网公开数据统计,华虹(无锡)90-55nm制程的12英寸特色工艺产线项目,工艺新葡萄京娱乐中的CVD、刻蚀新葡萄京娱乐、清洗新葡萄京娱乐国产化趋势明显,而光刻、离子注入、工艺控制、涂胶/显影等关键新葡萄京娱乐仍100%依赖进口品牌。鉴于华虹(无锡)项目后续新葡萄京娱乐采购可持续,加上90-55nm12英寸特殊工艺生产线类似的,总投资200亿元的规划项目还有厦门士兰微、上海积塔半导体等已启动在建项目,国产集成电路晶圆新葡萄京娱乐供应商将迎来510年发展的大机遇。

截至目前,华虹(无锡)项目总体国产新葡萄京娱乐中标的数量占比14%

华虹(无锡)项目总投资超100亿美元,一期投资25亿美元,将新建月产能为4万片的12英寸特色集成电路生产线,工艺等级90-65/55nm,预计分4-5年完成一期投资,年均投入5-6亿美元,预计20196月开始工艺新葡萄京娱乐进厂,截至目前工艺新葡萄京娱乐招标对应首个1万片/月产能,除辅助新葡萄京娱乐外累计招投标约160台新葡萄京娱乐。工艺新葡萄京娱乐已中标数据中,包括光刻机3台,刻蚀新葡萄京娱乐18台,CVD 20台,离子注入机10台,清洗新葡萄京娱乐19台,PVD 9台,CMP 8台,量测新葡萄京娱乐53台,还有退火、涂胶、显影等新葡萄京娱乐17台。

截至目前,总体国产新葡萄京娱乐中标的数量占比14%不包含量测新葡萄京娱乐口径下的国产化率为21%。总共有158台工艺新葡萄京娱乐招标,国产新葡萄京娱乐中标22台,进口新葡萄京娱乐中标136台。

各类关键工艺新葡萄京娱乐国产化差异大,刻蚀、清洗、CMP等国产化趋势明显

本次招标关键工艺新葡萄京娱乐中,刻蚀、清洗、CMPCVDPVD的国产化率依次是33%26%25%10%11%,退火新葡萄京娱乐国产化率40%,去胶新葡萄京娱乐国产化率100%(含亦庄国投已收购的Mattson)。关键工艺新葡萄京娱乐中,离子注入机、光刻机、显影新葡萄京娱乐、镀铜、涂胶等的国产化率为0100%依赖于进口品牌。

中微、盛美、北方华创、拓荆、华海清科引领工艺新葡萄京娱乐国产化

北方华创中标4台新葡萄京娱乐,中微半导体中标5台刻蚀新葡萄京娱乐,盛美半导体中标5台清洗新葡萄京娱乐,华海清科中标2CMP新葡萄京娱乐,沈阳拓荆中标2CVD新葡萄京娱乐,Mattson中标4台去胶新葡萄京娱乐,合计22台新葡萄京娱乐。

(来自:中银国际)