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北方华创:新一代SiC晶体生长系统,为第三代半导体领域再添新秀(2019-8-15)



北方华创:新一代SiC晶体生长系统,为第三代半导体领域再添新秀

北方华创科技(集团)股份有限公司(以下简称:“北方华创”)研制的PS Plus系列产品基于行业内技术最成熟、应用最广泛的物理气相输运法(PVT法),通过硬件设计优化和工艺研发,为长期困扰SiC行业的高成本、低质量的两大问题带来了新的解决方案,帮助客户在激烈竞争的第三代半导体材料领域提升行业竞争力。同时亦通过设计模块化架构、高精度温度/功率/电流控制、自动化软件系统等方案,为客户降低了SiC晶体的制造成本。新葡萄京娱乐兼备灵活精密的温度场调控系统、巧妙设计的腔室系统、独特的SiC工艺等方案,可让用户获得高质量的SiC晶体。

为满足用户对SiC晶体生长的更高需求,北方华创APS Plus系列产品在为客户提供4/6英寸SiC晶体的“原料合成—晶体生长—晶体退火—晶体加工”全流程一体化的工艺解决方案的基础上,维护简便,最大限度减少了耗材使用,是省钱、省时、省心的一站式解决方案。

(来自:北方华创)